HD500
Máy điều hòa không khí 01
Đang tải
Đặt hệ thống mẫu vào buồng phủ.
02
Bơm chân không
Khi phủ lớp PVD, cần có chân không cao. Hệ thống phủ của Huasheng thực hiện theo hai bước: Đầu tiên, bơm cơ học giảm áp suất buồng chân không từ 1000 mbar xuống 10⁻¹ mbar; Sau đó, bơm phân tử turbo tạo ra chân không cao khoảng 1 x 10⁻⁶ mbar.
03
Sưởi ấm
Làm nóng buồng đến khoảng 500℃, đây là nhiệt độ xử lý thông thường.
04
Khắc plasma
Hệ thống phủ của Huasheng sử dụng ba công nghệ khắc khác nhau: HUASHENG® (phóng điện phát sáng bên); Khắc plasma argon, phóng điện phát sáng; Khắc ion kim loại (Ti+, Cr+).
05
Sự lắng đọng
Quá trình lắng đọng lớp phủ được thực hiện bằng phương pháp PVD (mạ ion hồ quang, lắng đọng phún xạ magnetron hoặc công nghệ catốt tích hợp HUASHENG®).
06
Làm mát
Làm mát buồng phủ.
07
Dỡ hàng
Tháo hệ thống mẫu ra khỏi buồng phủ.
01020304050607
01
Quy trình 1
02
Quy trình 2
03
Quy trình 3
04
Quy trình 4
05
Quy trình 5
06
Quy trình 6
07