-
Nguyên lý hoạt động của thiết bị phủ chân không là gì?
+
A: Phương pháp này sử dụng công nghệ lắng đọng hơi vật lý (PVD) hoặc lắng đọng hơi hóa học (CVD) để làm bay hơi các vật liệu mục tiêu trong buồng chân không và lắng đọng chúng đồng đều lên chất nền, tạo thành các lớp phủ chức năng ở kích thước nano.
-
Thiết bị này cần bảo trì định kỳ như thế nào?
+
A: 1) Vệ sinh cặn bẩn trong buồng chân không sau mỗi 50 giờ hoạt động; 2) Kiểm tra mức dầu bơm cơ khí và độ kín của gioăng hàng tháng; 3) Hiệu chuẩn hệ thống giám sát độ dày màng phim hàng quý. Nên sử dụng vật tư tiêu hao chính hãng để đạt hiệu suất tối ưu.
-
Thiết bị này có thể phủ lên những vật liệu nào?
+
A: Tương thích với kim loại (Al/Ti), gốm sứ (Si3N4), polyme, v.v. Kích thước chất nền tối đa: Φ300mm×500mm. Hỗ trợ phủ lớp trên các chi tiết có hình dạng bất thường.
-
Thiết bị này tiêu thụ bao nhiêu năng lượng?
+
A: Các mẫu tiêu chuẩn có công suất định mức 15kW với chế độ tiết kiệm năng lượng thông minh giúp giảm mức tiêu thụ điện ở chế độ chờ xuống 40%. Chi phí vận hành ở tải tối đa khoảng 9 nhân dân tệ/giờ (dựa trên giá điện công nghiệp 0,6 nhân dân tệ/kWh).
-
Làm thế nào để khắc phục sự cố bất thường trong quy trình?
+
A: 1) So sánh đường cong quy trình của 10 lô gần đây thông qua HMI; 2) Sử dụng máy dò rò rỉ chân không để kiểm tra độ kín của buồng; 3) Liên hệ với bộ phận hỗ trợ kỹ thuật để được chẩn đoán từ xa (hoạt động 24/7).
HD500
Máy điều hòa không khí
