Máy điều hòa không khí
HD500 - Thiết bị phủ ion composite hoàn toàn mới thuộc dòng HD.
Khắc ngang độc đáo
√ Độ đồng nhất vượt trội trong quá trình khắc ngang
√ Đặc tính khắc vượt trội và bảo trì thuận tiện
Phun phủ từ HiPIMS tổng hợp
√ Được trang bị nguồn DC + HiPIMS MS, máy đảm bảo tốc độ lắng đọng cao đồng thời đáp ứng yêu cầu năng lượng để lắng đọng các kim loại chịu nhiệt như Nb, BC, W, V, v.v., và có khả năng lắng đọng hầu hết mọi vật liệu.
Nguồn đa hồ quang tối ưu hóa plasma
√ Được trang bị 3 nhóm gồm 6 nguồn mục tiêu đa hồ quang hình tròn, cơ chế khởi tạo hồ quang ẩn đáng tin cậy và dễ bảo trì.
√ Nó có thể dễ dàng thực hiện quá trình lắng đọng màng mỏng đa thành phần và đa lớp.
√ Nguồn plasma đa hồ quang được tối ưu hóa đảm bảo bề mặt màng mỏng mịn hơn.
√ Tỷ lệ sử dụng nguyên vật liệu mục tiêu cực kỳ cao.
Nhiều nền tảng công nghệ lắng đọng
√ Thực hiện nhiều công nghệ lắng đọng màng mỏng trên cùng một nền tảng, bao gồm DC MS + HiPIMS MS + mạ ion đa cung, và có thể triển khai các phương pháp phủ đơn, hỗn hợp và kết hợp trong cùng một mẻ.
| Tên | Tham số |
| Công nghệ phủ | Công nghệ lớp phủ composite hoàn toàn mới |
| Khắc axit | Nguồn ion bên (dây tóc nóng) |
| Nguồn đa hồ quang (số lượng) | 6 |
| Số lượng cực âm magnetron | 1 |
| Kích thước thiết bị (mm) | Chiều dài 3400 * Chiều rộng 1600 * Chiều cao 2600 |
| Thể tích buồng (m³) | 0,7 |
| Diện tích lớp phủ hiệu quả (mm) | Ф410*400 |
| Nhiệt độ làm việc tối đa (℃) | 700 |
| Sức chứa tối đa (số lượng cây) | 5 |
| Tải lưỡi dao (APMT1135) | 6000 chiếc |
| Khả năng chịu tải của lưỡi dao (D4*50L) | 1800 cái |
| Trọng lượng tải tối đa (KG) | 300 |
| Đường kính trục | F130 |
| Thời gian xử lý | AlTiN: 6~8 giờ |
